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液的潜在威胁
气本身无毒，浓度增加会引起缺氧，高浓度时会有窒息作用。当空气中气浓度高于50%时,出现严状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内。液、皮肤、呼吸道会造成。液溅入眼内可引起，触及皮肤可引起冷。
1.1使用液前，应调整液储罐内压力到0.8—1.2MPa，打开气表，使压力达到0.18-0.25Mpa，满足所有管路连接设备的使用要求后，将气表压力控制在稳定位置。
1.2使用过程中，每班次应检查储罐压力，当压力接近于设备使用要求的上下限、达到或接近液储罐低储量时，要增加观察频次，并及时上报，进行更换处理。
1.3增压操作：当储罐压力接近于设备使用要求的下，启动增压阀增压，操作程序为：缓慢打开增压阀，当储罐的压力表指示达到设备正常工作压力且低于储罐大工作压力时，关闭增压阀。
1.4使用过程中，随时观察储罐的液面高度，当液面高度低于红线时，关闭储罐调压阀，停止使用储罐内液，以保证再次充液时的气纯度。
1.5气使用过程中，在进行排液或者有漏液故障时，禁止皮肤直接接触液，防止。
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工业高纯气体分析的是对其中的规定杂质进行定性、定量测定。由于高纯气体中的限定杂质数目多, 且含量低, 通常在10-6～ 10-7范围, 因此对测试设备和分析人员均有较高的要求。
目前, 用于工业高纯气体测试的设备主要有:色谱仪、质谱仪、色- 质联用仪、光谱仪、电化学仪器、仪及各种专项测试仪表。经典的化学分析方法也是测定化学活性杂质的常用手段。
从事高纯气体分析的分析人员应熟悉气体分析的一般过程, 具有正确选择检测方法的能力, 并通过实践掌握高纯气体分析的特殊技能。拥有具备资格的分析人员和适宜的测试设备, 是开展高纯气体检测工作的前提。
随着半导体工业的发展, 对工业气体产品的质量要求越来越高, 对高纯气体分析的测试技术要求亦在不断提高。可以断言, 高纯气体测试手段及方法的研究是一项永无止境的工作。
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高纯气体必定符合的两个标准
1、主体成分含量均匀超过某特殊值。
2、各杂质成分含量必须低于某特殊值。
电子器件工业用气、仪表设备校正使用的零点气、标准气体配置天燃气、色谱分析载气等都应合乎上述规定,可列入高纯气体。
高纯气体的纯度=主体成分含量=1-∑杂质含量。事实上,用实验的方法立即测量高纯气体中主体成分含量是非常困难的。即便象二氧化碳这种产品,能通过要求的办法,立即测量获得“纯度值”,但是该值也包含了水份、气体以及其它与强酸功效的成分。所以,该“纯度”也并不是基础理论传统意义上的汽体纯度。
而另外一种根据测量汽体中常所含的杂质成分,测算求取汽体纯度的办法,一样不太好完成。