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碳化钒具有较高的硬度、熔点和高温强度等过渡族金属碳化物的一般特性，同时具有良好的导电导热性，因而在钢铁冶金、硬质合金、电子产品、催化剂和高温涂层材料等领域具有广泛应用。文献报道，各种碳化物的热力学稳定性决定了其抑制效果，其抑制作用大小顺序为：VC＞Mo2C＞Cr3C2＞NbC＞TaC＞TiC＞ZrC。碳化钒的加入还可以作为硬质相使硬质合金的硬度和寿命大大提高，降低硬质合金的饱和磁化强度、剩磁、矫顽磁力、磁能积、导磁率和居里温度，生产出无磁合金。
碳化钒原位合成是一种近年来发展起来的制备复合材料的新方法。通过固相间原子的扩散来完成反应的自蔓延高温合成法(SHS)、放热弥散法(XDTM)、接触反应法、混合盐反应法和机械合金化法(MA)都属于原位合成。其中，机械合金化又称高能球磨，是制备超细材料的一种重要途径，是1970年由Benjamin 首先提出的。这种技术是将元素粉末按照一定的配比机械混合，在高能球磨机等设备中长时间运转，由于球磨时金属磨球与粉末颗粒之间、粉末颗粒与颗粒之间经过长时间的碰撞挤压，导致粉末出现塑性变形、加工硬化、破碎等现象，继续球磨，新生表面将会发生冷焊和破碎变形。
碳化钒是硬度高的过渡金属碳化物之一。作为刀具涂层使用时,还具有许多特殊的优异性能,如使用中表面形成的V2O5 可因自润滑作用显著降低刀具的切削阻力。然而,目前对碳化钒的研究不多,且不够系统。Ferro 等用VC 靶以及电子束蒸发的方法获得了单相的NaCl 结构的VC 薄膜,薄膜显示了25GPa 的高硬度。Aouni 等采用钒靶和CH4 反应溅射制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,发现反应气体分压对碳化钒薄膜成分及微结构影响很大,随着CH4 分压的升高(3 %～15.7 %) ,可因碳含量的不同获得V ,V2C ,VC 及VC 与C 等多种单相或多相共存的碳化钒薄膜,但是他们没有报道所得各薄膜的力学性能。本文采用反应溅射技术制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,系统研究了分压对碳化钒薄膜成分、相组成、微结构与力学性能的影响。
